原裝進(jìn)口EBARA 荏原 EV-X 干式真空泵
原裝進(jìn)口EBARA 荏原 EV-X 干式真空泵
緊湊、節(jié)能，并且能夠用一個(gè)單元覆蓋廣泛的過程
適用于中等負(fù)載工藝
兼容高溫控制
節(jié)能
采用耐腐蝕材料標(biāo)準(zhǔn)
耐腐蝕性增強(qiáng)選項(xiàng)
在不同頻率 （50Hz/60Hz） 下性能相同
油
提供 CE 標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL
減少占地面積
產(chǎn)品介紹
這款用于中等負(fù)載工藝的干式真空泵配備了荏原的節(jié)能技術(shù)，采用了模塊化設(shè)計(jì)，針對(duì)自動(dòng)化工廠的制造進(jìn)行了優(yōu)化，以進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)小型化和節(jié)能。
寬范圍溫度控制擴(kuò)展了應(yīng)用過程。 使用同一臺(tái)機(jī)器覆蓋多個(gè)過程的能力優(yōu)化了備用機(jī)器庫存，降低了維護(hù)和培訓(xùn)要求，并為未來的過程擴(kuò)展提供了靈活性。 此外，每個(gè)過程的*溫度控制提高了工藝阻力，延長組件更換周期有助于減少 TCoO。
適用應(yīng)用示例：各種蝕刻、CVD、灰化、離子注入、外延生長等。
北崎8年，日本會(huì)社20年，專注領(lǐng)域如下：
儀器相關(guān)：
山高SANKO（代理）、東機(jī)產(chǎn)業(yè)TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、東日技研DIT（代理）、杉山電機(jī)SUGIYAMA（代理）、愛安德AND(廠家合作）、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA（代理）
備件設(shè)備相關(guān)：
柴田SIBATA(代理）、 壺坂TSUBOSAKA（代理）、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口電熱SAKAGUCHI（代理）、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（廠家合作）、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機(jī)理化EYELA、科庫森KOKUSAN
光源相關(guān)：
巖崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰寫速CCS（代理）、萊寶克斯REVOX（代理）、索萊克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龍F(tuán)UNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE
電氣控制：
SIEMENS西門子（廠家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON歐姆龍（廠家合作）、基恩士KEYENCE（廠家合作）
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